Порошок дисилициду вольфраму

Опис порошку дисилициду вольфраму

Силицид вольфраму (WSi2) — неорганічна сполука, силіцид вольфраму. Це електропровідний керамічний матеріал.

Порошок силіциду вольфраму зазвичай доступний відразу в більшості обсягів. Можна розглянути форми ультрависокої чистоти, високої чистоти, субмікронні та нанопорошкові форми.

Силицид вольфраму використовується в мікроелектроніці як контактний матеріал з питомим опором 60–80 мкОм см; він формується при 1000 градусах. Він часто використовується як шунт на полікремнієвих лініях для збільшення їх провідності та збільшення швидкості сигналу. Шари силіциду вольфраму можуть бути отримані шляхом хімічного осадження з пари, наприклад, використовуючи моносилан або дихлорсилан з гексафторидом вольфраму як вихідні гази. Нанесена плівка є не-стехіометричною і потребує відпалу для перетворення в стехіометричну форму з більшою провідністю. Силицид вольфраму є заміною попередніх вольфрамових плівок. Силицид вольфраму також використовується як бар'єрний шар між кремнієм та іншими металами, наприклад, вольфрамом.

Силицид вольфраму також є цінним для використання в мікроелектромеханічних системах, де він переважно використовується у вигляді тонких плівок для виготовлення мікросхем. Для таких цілей плівки силіциду вольфраму можуть бути протравлені плазмою-за допомогою, наприклад, газоподібного трифториду азоту.

WSi2 добре працює як покриття, стійке до окислення-. Зокрема, подібно до дисилициду молібдену, MoSi2, висока випромінювальна здатність дисилициду вольфраму робить цей матеріал привабливим для високотемпературного радіаційного охолодження, що має наслідки для теплових екранів.

Застосування порошку дисилициду вольфраму та суміжні галузі

● Контактний матеріал у мікроелектроніці

● Використовуйте полікремнієві лінії, щоб збільшити їх провідність і швидкість сигналу

● Хімічне осадження з пари

● Заміна попередніх вольфрамових плівок

● Бар'єрний шар між кремнієм та іншими металами (наприклад, вольфрамом)

● Мікроелектромеханічні системи

● Покриття{0}}стійкі до окислення

● Плівки плазмового{0}}травлення

● Дослідження та лабораторія

● Матеріалознавство

● Нанесення тонкої плівки

● Покриття

Хімічні ідентифікатори

Властивості дисиліциду вольфраму (теоретичні)

Популярні Мітки: порошок дисилициду вольфраму, Китай, постачальники, купити, продаж, виробництва Китаю